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中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级

导读 【中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么...

【中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧!

1、【中国电科48所8英寸碳化硅外延设备再升级】 近日,中国电科48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备关键技术再获突破。

2、碳化硅外延炉是第三代半导体碳化硅器件制造的核心装备之一。

3、此次“全新升级”的8英寸碳化硅外延设备,具备更快、更好、更稳定的特点,通过改进激光视觉定位、晶圆自纠偏等技术,设备自动化性能更加成熟,提升产品生产效率。

4、设备还成功引入新的掺杂技术,进一步提升产品良率,持续降低生产成本。

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