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华海清科:“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖

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【华海清科:“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧!

1、【华海清科:“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖】 华海清科公告,公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。

2、公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得一等奖证书。

3、该项目实现了国内市场CMP装备领域的国产替代,国内市场占有率达到较高水平。

4、本次获奖对公司近期业绩暂无重大影响。

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