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【消息称SK海力士将在1c DRAM生产中采用新型Inpria MOR光刻胶】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧!
1、【消息称SK海力士将在1c DRAM生产中采用新型Inpria MOR光刻胶】SK海力士计划在第6代(1c工艺 约10nm)DRAM的生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是MOR首次应用于DRAM量产工艺。
2、消息人士称,SK海力士量产的1c DRAM上有五个极紫外 (EUV) 层,其中一层将使用MOR绘制。
3、他还补充说,不仅SK海力士,三星电子也将追求这类无机PR材料。
4、 (TheElec)。
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