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【微导纳米：拟发行可转债募资不超11.7亿元 用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目等】微导纳米公告，公司拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。

扣除发行费用后，将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。

半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目主要生产半导体领域 iTomic 系列和 iTronix系列产品，其涉及原子层沉积和化学气相沉积两大类设备。

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